ASML(荷兰阿斯麦)正抓紧研制其下一代高NA(0.55数值孔径)的EUV极紫外光刻机,在发布最新财报期间,AMSL透露,其存量EUV客户均订购了新一代设备。
具体来说,在Intel和台积电之后,三星、SK海力士、美光等也下单高NA EUV光刻机了。
高NA EUV光刻机允许加工更精密的半导体芯片,生产效率也更高,它也是2nm及更先进工艺的必要条件。
韩国设备商透露,现款EUV光刻机的订货价是2000~3000亿韩元(约合10~16亿元人民币),而高NA EUV光刻机的报价翻番到了5000亿韩元(约合26亿元)。
据了解,在三季度财报中,ASML完成58亿欧元的净销售额,毛利率51.8%、净利润17亿欧元,公司预计四季度净销售额在61~66亿欧元之间。
CEO Peter Wennink,其三季度预订产品的销售额达到创纪录的89亿欧元,其中EUV设备就有38亿欧元。
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快科技
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